2020年对于中国半导体行业来说,是砥砺前行的一年,因为美国一纸禁令,必须使用EUV光刻机的华为5纳米芯片,麒麟9000无法生产,让很多国人既气愤又无奈。
可以说,每一位关心中国科技发展的小伙伴都在问,到底什么时候,我们国产光刻机能够问世,到底什么时候,我们自己的光刻机能给华为代加工高端芯片?今天我们就来聊聊这个话题,做一个关于国产光刻机的小盘点,来梳理一下国产光刻机的发展现状。
今天我们先以问答的形式来进行,具体如下:
1、我们有国产光刻机吗?
答案是有,生产企业是上海微电子。
2、国产光刻机现在能做到什么程度?
我们在上海微电子官网可以看到,2018年3月,上海微电子的90nm光刻机项目通过正式验收。也就是说,我们的国产光刻机目前可以做到90纳米工艺。
3、国产28纳米光刻机是什么情况?
之前有网友爆料,上海微电子将于2020年12月下线首台采用ArF光源的SSA800/10W光刻机,这是一台国产浸没式 DUV 光刻机,可实现单次曝光28nm节点。所以网络里一直流传着这个说法。不过对于此消息,有人说是真的,有人说是假的。让人很是迷糊。